使用静压上银丝杆可以减少摩擦力
运用静压技术的目的是消除相对运动部件之间的机械接触,然后大大减小或消除定位系统中的抵触力。众所周知,抵触是精密定位的首要妨碍,它会影响系统的动态照应特性并致使稳态差错。常用的静压上银丝杆首要有空气静压丝杆和液体静压丝杆,液体静压丝杆相对于空气静压丝杠具有更高的刚度和非常好的精度。
当时可以满足超精密定位需要的驱动安排首要有: 静压上银丝杆、直线电机、抵触驱动安排,他们都在实践中获得了优于10nm 的分辨率。在完结纳米级分辨率和定位精度的一起, 工业运用中更重要的是要选用老到牢靠的机械安排、简略的控制结构和算法, 并且易于维护、经济性好。静压丝杆多用于大型超精密加工设备和超精密测量设备中。由于具有极小的抵触系数,没有爬行和反向空地,它可以在较长的行程上坚持纳米级的分辨率,并且可以长时间坚持精度。
静压上银丝杆需要附加的静压设备、衰减设备和振动克制技术, 本钱较高。一般的用户都不会选用静压丝杆，利用各种能减少摩擦的手段，也能在一定程度上增加丝杆的寿命，这样可以大大节约成本。
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